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超高真空全金屬插板閥 | 為大科學(xué)裝置研究而生

更新時間:2025-12-11      點(diǎn)擊次數(shù):27

超高真空全金屬插板閥 | 為大科學(xué)裝置研究而生

HTC日揚(yáng)科技設(shè)計(jì)的全金屬插板閥適用于超高真空的環(huán)境下(10??Pa~10??Pa),采用HTC Disc金屬密封技術(shù),其壓力范圍一般在UHV~1.2bar(abs),漏率zui di能做到<1×10?1? mbar?L/s的可靠密封。依據(jù)開啟方式不同分為手動/氣動式,以及是否有shielding射頻屏蔽功能,可實(shí)現(xiàn)耐溫150℃~250℃不等。近年來在國內(nèi)的大科學(xué)裝置研究表面分析半導(dǎo)體制造項(xiàng)目中,已經(jīng)有許多成功試裝案例,其zhuo yue可靠性得到市場驗(yàn)證。



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-日揚(yáng)全金屬插板閥-

• 穩(wěn)定開啟,可靠隔離,適用于超高真空

• 全金屬結(jié)構(gòu),耐極限高低溫、抗輻射

• 可帶RF/waveguide shielding功能

• 可作為微波傳輸線路中的隔離閥使用

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CF35、CF63和DF78

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全金屬插板閥多用于高能物理實(shí)驗(yàn)室項(xiàng)目之中,故有著阻斷射頻信號泄漏 / 侵入,保障粒子束傳輸穩(wěn)定的需求,于此要求插板閥帶有射頻屏蔽功能。此外,低漏率、耐高溫、高潔凈度、抗輻射、高壽命以及穩(wěn)定可靠是衡量一款全金屬插板閥優(yōu)秀的重要標(biāo)準(zhǔn),在這方面,日揚(yáng)配合客戶成功研制出CF35、CF63和DF78等型號的全金屬插板閥,成為為數(shù)不多實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破的國產(chǎn)廠商。

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Class6千級無塵室生產(chǎn)

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全金屬插板閥相關(guān)案例

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2020年,日揚(yáng)與SHINE項(xiàng)目合作,在國內(nèi)硬X射線自由電子激光裝置項(xiàng)目之中,shou ci攻破全金屬插板閥的金屬與金屬間硬密封、高精度定位等關(guān)鍵技術(shù)難題,并且樣機(jī)成功交付,該全金屬高頻屏蔽門閥被安裝在超導(dǎo)加速器電子束流通道中,工作在超高真空、超潔凈、液氦低溫、射頻場和電離輻射復(fù)雜環(huán)境條件下。

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此后數(shù)年,日揚(yáng)科技相繼在CF35、CF63等尺寸閥門上獲得突破。依據(jù)客戶不同的實(shí)際環(huán)境需求,其他尺寸也在開發(fā)中,并持續(xù)提高性能、優(yōu)化數(shù)據(jù)以真正實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代,為國內(nèi)的大科學(xué)裝置研究貢獻(xiàn)力量。

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全金屬插板閥驗(yàn)收與交付

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CF35 RF氣動全金屬插板閥

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CF63氣動全金屬插板閥

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