OPG550光學(xué)等離子真空計(jì)

尊敬的新老顧客：

這里為你詳細(xì)介紹INFICON（英福康）Augent™ OPG550光學(xué)等離子真空計(jì)，這是一款集總壓測量與光學(xué)氣體成分分析于一體的緊湊型真空監(jiān)測設(shè)備，廣泛用于半導(dǎo)體、真空爐、檢漏等工業(yè)場景。

核心原理

優(yōu)點(diǎn)：

1、集總壓力測量（1×10?? mbar ～ 大氣壓）與氣體組分分析（1×10?? ～ 5 mbar）于一體。 

2、可識(shí)別N?、O?、H?、Ar等常見氣體，適合粗、高真空過程監(jiān)控。

3、抽真空過程中1 分鐘內(nèi)即可可靠檢測空氣泄漏，遠(yuǎn)快于傳統(tǒng)保壓法（10 分鐘～2 小時(shí)）。 

4、實(shí)時(shí)監(jiān)測總壓與氣體組分，支持自動(dòng)檢漏和遠(yuǎn)程告警，大幅提升產(chǎn)能。

5、采用冷陰極和光學(xué)傳感，無易損燈絲，抗空氣沖擊、耐化學(xué)腐蝕。 

6、內(nèi)置皮拉尼傳感器做過載保護(hù)，壓力超 20 mbar(印刷版資料上是20bar) 時(shí)自動(dòng)關(guān)閉等離子體，保護(hù)核心部件。

7、體積小巧，標(biāo)準(zhǔn)接口，安裝靈活，節(jié)省設(shè)備空間。 

8、智能算法簡化操作，支持即插即用，便于自動(dòng)化系統(tǒng)集成。

9、無需預(yù)熱，上電即測，減少等待時(shí)間。 

10、傳感器壽命長，降低頻繁更換與校準(zhǔn)成本。

缺點(diǎn)：

1、僅能檢測N?、O?、H?、Ar等少數(shù)氣體，無法識(shí)別復(fù)雜混合氣體或特殊工藝氣體。

2、相比四極質(zhì)譜（RGA），定性 / 定量精度與氣體覆蓋度差距明顯。

3、氣體分析僅在1×10?? ～ 5 mbar有效，超出范圍無法氣分。定量精度不及專業(yè)質(zhì)譜，不適合高精度氣體配比或痕量雜質(zhì)分析。

• 半導(dǎo)體工藝：PVD/CVD 腔室的真空監(jiān)測、氣體成分控制、端點(diǎn)檢測、管路 / 腔室泄漏排查；

• 真空釬焊 / 熱處理爐：防止空氣滲入導(dǎo)致工件氧化，實(shí)時(shí)監(jiān)控爐內(nèi)氣氛；

• 檢漏系統(tǒng)：加速 RoR（壓力上升速率）測試，供氣管路 / 真空箱體的在線泄漏預(yù)警；

• 校準(zhǔn)設(shè)備：真空校準(zhǔn)臺(tái)的多氣體環(huán)境監(jiān)測。

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