Brooks VersaTorr 系列復(fù)合真空計(jì)

VersaTorr 是 Brooks Instrument三合一復(fù)合寬量程真空變送器，集成 MEMS 皮拉尼、壓電、電容隔膜（CDG）三種傳感，單支實(shí)現(xiàn)粗真空?中真空9 個(gè)數(shù)量級(jí)測(cè)量，替代多支單原理真空規(guī)，廣泛用于半導(dǎo)體 Load?Lock、鍍膜、分析儀器、熱處理爐Brooks Ins...。

型號(hào)家族

• BVT100 / BVT125：MEMS 皮拉尼 + 壓電，經(jīng)濟(jì)型復(fù)合規(guī)，BVT125 內(nèi)置大氣壓開(kāi)關(guān)

• BVT200 / BVT225 / BVT275：Tri?Sensor 三傳感器（皮拉尼 MEMS + 壓電 + 電容隔膜 CDG）；氣體無(wú)關(guān)測(cè)量，CDG 自動(dòng)調(diào)零，半導(dǎo)體工藝主力型號(hào)Brooks Ins...

核心技術(shù)特點(diǎn)

1. 超寬量程：\(7.5\times10^\ \mathrm\sim1000\ \mathrm\)（\(1\times10^\ \mathrm\sim1333\ \mathrm\)），一支覆蓋粗抽、過(guò)渡、中真空區(qū)間

2. BVT200 系列Tri?Sensor 三傳感架構(gòu)

• 高真空段：MEMS 皮拉尼熱傳導(dǎo)

• 中真空：電容隔膜 CDG（氣體成分無(wú)關(guān)，不受氣體種類影響）

• 近大氣壓段：壓電傳感器

• CDG 支持自動(dòng)零點(diǎn)校準(zhǔn)，無(wú)需人工現(xiàn)場(chǎng)調(diào)零，減少維護(hù)Brooks Ins...

3. 響應(yīng)速度：＜20?ms，適合快速抽氣 / 復(fù)壓 Load?Lock 腔體聯(lián)鎖控制

4. 最多 3 路可編程固態(tài)繼電器設(shè)定點(diǎn)，直接用于設(shè)備聯(lián)鎖、泵閥控制

5. 通訊：模擬 0?10V；數(shù)字 RS?232 / RS?485 Modbus；支持 USB 通信器現(xiàn)場(chǎng)配置、讀取診斷數(shù)據(jù)、參數(shù)修改

6. 模擬輸出可自定義縮放，可兼容替代市面上多數(shù)老款復(fù)合真空規(guī)，硬件無(wú)需改板直接替換升級(jí)

關(guān)鍵規(guī)格對(duì)比

表格

BVT125：內(nèi)置大氣壓檢測(cè)開(kāi)關(guān)；BVT225 帶大氣壓開(kāi)關(guān)；BVT275 針對(duì)嚴(yán)苛工藝、抗顆粒污染，Inconel 隔離膜片版本。

典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體設(shè)備：Load?Lock 腔、預(yù)抽腔、前級(jí)管路

• PVD/CVD 薄膜鍍膜設(shè)備

• 掃描電鏡、質(zhì)譜分析儀器

• 真空熱處理爐、釬焊爐

• 科研 / OEM 真空系統(tǒng)集成

選型注意

1. BVT100：經(jīng)濟(jì)型，皮拉尼在低壓區(qū)氣體相關(guān)；BVT200：帶 CDG，工藝氣體變化工況優(yōu)先選。

2. BVT 系列僅覆蓋到中真空，不能測(cè)高真空 / 超高真空（\(<10^\ \mathrm\)），需要電離規(guī)擴(kuò)展。

3. 法蘭標(biāo)準(zhǔn)主流為 DN16?KF；訂貨時(shí)指定法蘭、是否需要大氣壓開(kāi)關(guān)、繼電器路數(shù)。

4. 配套工具：Brooks Vacuum Sensor Communicator（USB），用于配置、診斷、讀取校準(zhǔn)信息。